Silikonska okrugla pločica

Silikonska okrugla pločica

Ova serija okruglih pločica od silikona je pomno dizajnirana da pruži beskompromisnustabilna geometrijapotrebno za bešavneautomatizovano rukovanjeu naprednim livničkim okruženjima. Optimizirano za cijeli spektar promjera od2 inča (50 mm) do 12 inča (300 mm), ove podloge su dizajnirane sa visoko-profiliranjem ivica visoke vjernosti kako bi se osiguralo dosljedno mehaničko zahvatanje tokom-brzih robotskih transfera i sekvenci vakuumskog zatezanja.

Kompatibilnost precizne-opreme:Svaka pločica je regulirana krutim tolerancijama zatačna zaobljenosti konzistentnost prečnika, značajno poboljšavajući kompatibilnost sa starim alatima od 200 mm i naprednim automatizovanim klasterima od 300 mm. Strogo pridržavajući se međunarodnih SEMI standarda za zareze i ravne dimenzije, podloga omogućava gotovo trenutnu kalibraciju alata, smanjujući mehaničko vrijeme zastoja.

Pojednostavljeni tok obrade:Vrhunska dimenzionalna stabilnost nosača vafla anesmetan tok obradekroz najintenzivnije faze izrade. Minimiziranjem ekscentriciteta centra--mase, podloga smanjuje rotacijske vibracije tokom visoko-RPM centrifugiranja i hemijske-mehaničke planarizacije (CMP), osiguravajući ujednačenu debljinu filma na cijeloj površini.

Minimiziran poremećaj poravnanja: Dosljedne dimenzijesu kritični za smanjenje prostornogpitanja usklađivanjatokom više-slojne fotolitografije. Stabilan faktor forme pločice osigurava da globalne oznake poravnanja ostanu unutar raspona hvatanja naprednih skenera, direktno u korelaciji sa povećanjemwafer{0}}prinos (WLY)za visoku-gustinuIC i logika napajanjauređaji velikih-razmjeraindustrijske proizvodne linije.

Popularni tagovi: silikonska okrugla vafla, Kina proizvođači silikonskih okruglih pločica, dobavljači, tvornica