Precizni silikonski disk

Precizni silikonski disk

Ova precizna serija silikonskih diskova je pažljivo dizajnirana da pružiodlična kontrola dimenzija, koji funkcionira kao-osnova visoke vjernosti za naprednu mikro{1}}proizvodnju. Podržava cijeli industrijski spektar od2 inča (50 mm) do 12 inča (300 mm), ovi diskovi su dizajnirani da održe apsolutni geometrijski integritet pod složenim termičkim i hemijskim ciklusima moderne proizvodnje poluprovodnika.

Optimizirana geometrijska stabilnost:Thetačna geometrijasvakog diska je regulirano ultra-uskim tolerancijama za totalnu varijaciju debljine (TTV), zakrivljenost i luk. Ova strukturna stabilnostpoboljšava stabilnost obrade, posebno tokom -brze hemijske-mehaničke planarizacije (CMP) i brze termičke obrade (RTP), gdje čak i manje varijacije mogu ugroziti uniformnost kritičnih slojeva.

Poboljšano litografsko poravnanje:Disk je dizajniran dasmanjiti greške poravnanja tokom obradepružajući superiorno ravnu početnu površinu. Ova preciznost osigurava da globalne i lokalne oznake poravnanja ostanu unutar raspona snimanja skenera visoke{1}}rezolucije, olakšavajućivisoko{0}}izradai sprečavanje izobličenja uzorka u više-slojnoj logici iIC napajanja (IGBT/MOSFET)arhitekture.

Predvidljiv kvalitet proizvoda:Naš rigorozniprecizna kontrolaprofiliranje preko ivice i dimenzije zareza osiguravaju besprijekornu integraciju u automatizirane robotske sisteme za rukovanje. Ova mehanička pouzdanost direktnopoboljšava kvalitetu finalnog proizvoda, što dovodi do konzistentnije distribucije električnih parametara i mjerljivog povećanja prinosa{0}}wafera (WLY) u različitim industrijskim i automobilskim aplikacijama.

Popularni tagovi: precizni silikonski disk, proizvođači preciznih silikonskih diskova u Kini, dobavljači, tvornica